RF plasma CVD법에 의한 초경합금에의 입방정질화붕소막의 피복

Coating of Cubic Boron Nitride Film on a Cemented Carbide by RF Plasma CVD

  • 홍성필 (충북대학교 산업과학기술연구소) ;
  • 김기호 (충북대학교 재료공학과)
  • 발행 : 1999.05.01