대한전자공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the IEEK Conference)
- 대한전자공학회 1999년도 하계종합학술대회 논문집
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- Pages.954-957
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- 1999
열화학기상증착법에 의한 대면적 실리콘 기판위에서의 탄소나노튜브 성장
Growth of carbon nanotubes on a large area of Si substrate by the thermal chemical vapor deposition
초록
We have synthesized carbon nanotubes by thermal chemical vapor deposition of
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