산화물 전극을 이용한 압전 마이크로 액츄에이터 제작 및 특성평가

Fabrication and characterization of piezoelectric microactuators adopting oxide electrode

  • 이선호 (한양대학교 무기재료공학과) ;
  • 홍경일 (한양대학교 무기재료공학과) ;
  • 이진원 (한양대학교 무기재료공학과) ;
  • 최덕균 (한양대학교 무기재료공학과)
  • 발행 : 1999.05.01