Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1999.05a
- /
- Pages.20-20
- /
- 1999
Effect of Si Content on Electrical and Optical Properties of PECVD Silicon Oxynitride Film
Si 함량이 PECVD SiON 박막의 전기적 및 광학적 물성에 미치는 영향
Abstract
Keywords