Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 1999.05a
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- Pages.493-496
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- 1999
Variation of Electrical characteristics of the Ni/SiC interface with annealing effect
열처리효과에 따르는 Ni/sic 계면의 전기적 특성
Abstract
Ni/3C-SiC 옴믹 접합에 대한 미세구조적-접합 특성과의 상관관계를 규명하였다. 3C-SiC 웨이퍼 위에 저저항 전면 옴믹 적합층을 형성하기 위하여 Ni(t=300