Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

A Study on the Fabrication of Co silicided Si FEA using Si$_3$N$_4$

Si$_3$N$_4$를 이용한 Co silicided Si FEA의 제작

  • 정진철 (단국대학교 반도체연구실) ;
  • 김민영 (단국대학교 반도체연구실) ;
  • 장지근 (단국대학교 반도체연구실)
  • Published : 1999.11.01
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Abstract

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