한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

Si$_3$N$_4$를 이용한 Co silicided Si FEA의 제작

A Study on the Fabrication of Co silicided Si FEA using Si$_3$N$_4$

  • 정진철 (단국대학교 반도체연구실) ;
  • 김민영 (단국대학교 반도체연구실) ;
  • 장지근 (단국대학교 반도체연구실)
  • 발행 : 1999.11.01
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드