Optical properties of diamond like carbon film deposited by PECVD

PECVD법으로 증착된 DLC film의 광학적 특성연구

  • 김문협 (금오공과대학교 재료금속공학부) ;
  • 송재진 (한국전자(주) 종합연구소) ;
  • 노재승 (금오공과대학교 재료금속공학부) ;
  • 김성진 (금오공과대학교 재료금속공학부)
  • Published : 1999.11.01