Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

The effects of post annealing on the Physical and Electrical Properties of Low-k polymer

후속열공정에 따른 저유전율 Polymer막의 물리적, 전기적 특성변화

  • 송정규 (현대전자산업(주) 메모리연구소) ;
  • 구자춘 (현대전자산업(주) 메모리연구소) ;
  • 김시범 (현대전자산업(주) 메모리연구소) ;
  • 김삼동 (현대전자산업(주) 메모리연구소) ;
  • 김정태 (현대전자산업(주) 메모리연구소)
  • Published : 1999.11.01
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Abstract

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