Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Metalorganic Chemical Vapor Deposition of RuO_2 Thin Film using Direct Liquid Injection (DLI) system

  • 이동진 (포항공과대학교 화학공학과 정보전자재료화학연구실) ;
  • 이시우 (포항공과대학교 화학공학과 정보전자재료화학연구실)
  • Published : 1999.11.01
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Abstract

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