Low resistance Ti/Al ohmic contact for n-type GaN by surface treatment

표면처리를 통한 n형 GaN용 오믹접촉 연구

  • 전창민 (포항공과대학교 재료금속공학과) ;
  • 김종규 (포항공과대학교 재료금속공학과) ;
  • 이종람 (포항공과대학교 재료금속공학과) ;
  • 이재원 (삼성종합기술원 광전자실) ;
  • 박용조 (삼성종합기술원 광전자실) ;
  • 김태일 (삼성종합기술원 광전자실)
  • Published : 1999.11.01