PZT를 이용한 MFIS 캐퍼시터에 적합한 절연층의 특성 비교

Insulating Layers for MFIS Capacitors with PZT Thin Films

  • 김형석 (국민대학교 금속재료공학과) ;
  • 김지영 (국민대학교 금속재료공학과)
  • 발행 : 1999.11.01