Densification of Sputtering Target by ITO nanopowder

ITO 미세분말을 이용한 소결체의 고밀도화

  • 최훈 (삼성종합기술원 전기화학 Lab.) ;
  • 박상철 (삼성종합기술원 전기화학 Lab.) ;
  • 김순호 (삼성종합기술원 전기화학 Lab.) ;
  • 송경화 (삼성종합기술원 전기화학 Lab.) ;
  • 남정규 (삼성종합기술원 전기화학 Lab.)
  • Published : 1999.11.01