한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

기상증착과 PECVD를 이용한 불화 유기박막의 증착

The Deposition of Fluorinated Thin Films by Thermal Evaporation and PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

  • 차남구 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 이강국 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 박진구 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 신형재 (삼성전자 중앙연구소)
  • 발행 : 1999.11.01
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