A study of Cu-alloy(Mg) properties on TiN diffusion barrier

TiN확산 방지막에 대한 Cu-alloy(Mg)특성 연구

  • 박상기 (국민대학교 금속재료공학과) ;
  • 이재갑 (국민대학교 금속재료공학과)
  • Published : 1999.11.01