Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1999.11a
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- Pages.86-86
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- 1999
Morphological and structural characteristics of homoepitaxial 4H-SiC thin films by chemical vapor deposition using bis-trimethylsilylmethane precursor
유기화합물 원료물질을 이용한 화학기상증착법에 의한 동종 4H-SiC 박막의 표면 및 구조적 특성에 관한 연구
Abstract
Keywords