Synthesis of c-BN:C films using helicon wave plasma CVD and adhesion improvement

cubic BN:C 박막의 합성 및 밀찰력 증대에 관한 연구

  • 김경보 (포항공과대학교 재료금속공학과) ;
  • 김기성 (포항공과대학교 재료금속공학과) ;
  • 김선효 (포항공과대학교 재료금속공학과)
  • Published : 1999.11.01