FALC 공정의 방향성 결정화가 박막 트랜지스터의 전기적 특성에 미치는 영향

Influence of Directional Crystallization Using Field-Aided Lateral Crystallization Process upon Electrical Properties of Thin-Film Transistors

  • 양용호 (한양대학교 무기재료공학과) ;
  • 이찬재 (한양대학교 무기재료공학과) ;
  • 김철호 (한양대학교 무기재료공학과) ;
  • 이재복 (한양대학교 무기재료공학과) ;
  • 최덕균 (한양대학교 무기재료공학과)
  • 발행 : 1999.11.01