기판 표면 거칠기와 박막의 두께가 ZnO 박막의 우선배향성에 미치는 효과

Effects of roughness of substrates and thickness of films on preferred orientation of ZnO films

  • 이재빈 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 곽상현 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 김형준 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 조영진 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 박희대 (한국쌍신전기주식회사 기술연구소) ;
  • 김영식 (한국쌍신전기주식회사 기술연구소)
  • 발행 : 1999.11.01