Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Thermal Stability and Electrical Resistivity of Reactively Sputtered Amorphous Tungsten Nitride Film

Reactive Sputtering 법으로 제조된 Tungsten Nitride 박막의 열적 안정성 및 전기저항

  • 이기선 (공주대학교 공과대학 신소재공학부) ;
  • 이병학 (LG반도체(주) 기반기술연구소) ;
  • 손동균 (LG반도체(주) 기반기술연구소)
  • Published : 1999.11.01
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Abstract

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