Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

1999.07a
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Pages.218-218
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1999

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

Profile Evolution in Plasma Process: A Level Set Approach to Simulation for Etching and Deposition

허재석 (삼성종합기술원 CSE Lab.) ;
신재광 (삼성종합기술원 CSE Lab.) ;
오재준 (삼성종합기술원 CSE Lab.) ;
김성구 (삼성종합기술원 CSE Lab.) ;
이규상 (삼성종합기술원 CSE Lab.) ;
이형인 (삼성종합기술원 CSE Lab.)

Published : 1999.07.01

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Abstract

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