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한국진공학회
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한국진공학회:학술대회논문집
(Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집
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Pages.196-196
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1999
한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
PSII(Plasma Source Ion Implantation)와 PN(Plasma Nitriding)으로 제조한 AlN의 특성 분석
심연근
(고등기술연구원) ;
김윤기
(고등기술연구원) ;
김건우
(고등기술연구원) ;
이근호
(고등기술연구원) ;
한승희
(한국과학기술연구원)
발행 : 1999.07.01
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