02)567-9486
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The Korean Vacuum Society
http://www.kvs.or.kr
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
1999.07a
/
Pages.196-196
/
1999
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
PSII(Plasma Source Ion Implantation)와 PN(Plasma Nitriding)으로 제조한 AlN의 특성 분석
심연근
(고등기술연구원) ;
김윤기
(고등기술연구원) ;
김건우
(고등기술연구원) ;
이근호
(고등기술연구원) ;
한승희
(한국과학기술연구원)
Published : 1999.07.01
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