Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

1999.07a
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Pages.196-196
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1999

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

PSII(Plasma Source Ion Implantation)와 PN(Plasma Nitriding)으로 제조한 AlN의 특성 분석

심연근 (고등기술연구원) ;
김윤기 (고등기술연구원) ;
김건우 (고등기술연구원) ;
이근호 (고등기술연구원) ;
한승희 (한국과학기술연구원)

Published : 1999.07.01

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Abstract

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