Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

이온 주입에 따른 Oxide 성장 거동 고찰

  • 임철호 (현대전자산업주식회사 메모리개발 연구소) ;
  • 김재영 (현대전자산업주식회사 메모리개발 연구소) ;
  • 홍성윤 (현대전자산업주식회사 메모리개발 연구소) ;
  • 민경열 (현대전자산업주식회사 메모리개발 연구소) ;
  • 이순영 (현대전자산업주식회사 메모리개발 연구소)
  • Published : 1999.07.01
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Abstract

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