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한국진공학회
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한국진공학회:학술대회논문집
(Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집
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Pages.68-68
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1999
한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
CeO2(111)/Si(111)위에 성장된 실리콘 박막 특성 분석
양지훈
(성균관대학교 물리학과) ;
문병식
(성균관대학교 물리학과) ;
박종윤
(성균관대학교 물리학과)
발행 : 1999.07.01
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