Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

실리콘 산화막 건식각시 발생되는 방응 부산물에 의한 오염

  • 신용현 (한국표준과학연구원 진공그룹) ;
  • 이상균 (한국표준과학연구원 진공그룹) ;
  • 임종연 (한국표준과학연구원 진공그룹) ;
  • 홍승수 (한국표준과학연구원 진공그룹) ;
  • 정광화 (한국표준과학연구원 진공그룹) ;
  • 최정석 (LG 반도체)
  • Published : 1999.02.01

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Abstract

Keywords