Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

pp-Xylene pprecursor를 사용한 low k 유기박막의 ppECVD 증착 및 전기적 특성

  • 권영춘 (성균관대학교 물리학과) ;
  • 주종량 (성균관대학교 진공과학공학과) ;
  • 정동근 (성균관대학교 물리학과)
  • Published : 1999.02.01

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Abstract

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