Toluene을 pprecursor로 사용한 pplasma enhanced chemical vappor depposition에 의한 실리콘 집적회로용 저 유전상수(low-k) 유사중합체 유기박막의 증착 및 특성분석

  • 주종량 (성균관대학교 진공과학공학과) ;
  • 권영춘 (성균관대학교 물리학과) ;
  • 정동근 (성균관대학교 물리학과)
  • Published : 1999.02.01

Abstract

Keywords