스파터링(Spputtering)법으로 증착된 텅스텐(W) 게이트(Gate) 금속의 열처리 전후 영향에 대한 연구

• 윤영수 (성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학부) ;
• 노용한 (광운대 전기공학과) ;
• 노관종 (광운대 전기공학과) ;
• 정동근 (성균관대학교 자연과학부)

• Published : 1999.02.01