Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

열처리에 따른 Y2O3 박막의 미세구조와 전기적 특성 변화에 대한 고찰

  • 정윤하 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 강성관 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 김은하 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 고대홍 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 조만호 (연세대학교 물리학과) ;
  • 황정남 (연세대학교 물리학과)
  • Published : 1999.02.01

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Abstract

Keywords