Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

미소영역에서의 TiSi2 상변태

  • 김영철 (청주시 흥덕구 향정동 LG 반도체(주) 중앙 연구소) ;
  • 배종옥 (청주시 흥덕구 향정동 LG 반도체(주) 중앙 연구소) ;
  • 박주철 (청주시 흥덕구 향정동 LG 반도체(주) 중앙 연구소) ;
  • 최홍민 (청주시 흥덕구 향정동 LG 반도체(주) 중앙 연구소)
  • Published : 1999.02.01

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Abstract

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