Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

1999.02a
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Pages.62-62
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1999

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

ppre-depposition과 Layer-by-Layer 방법으로 증착된 다결정 실리콘 박막의 특성 연구

권대진 (한양대학교 물리학과) ;
송병권 (한양대학교 물리학과) ;
남창우 (한양대학교 물리학과) ;
홍진표 (한양대학교 물리학과) ;
김채옥 (한양대학교 물리학과)

Published : 1999.02.01

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Abstract

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