Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

격자 불일치 이종접합 에피탁시의 문제를 극복할 수 있는 Comppliant Substrate에 관한 연구

  • 강동훈 (고려대학교 재료공학과) ;
  • 황성민 (고려대학교 재료공학과) ;
  • 김용 (한국과학기술연구원 반도체연구실) ;
  • 김은규 (한국과학기술연구원 반도체연구실) ;
  • 최인훈 (고려대학교 재료공학과)
  • Published : 1999.02.01

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Abstract

Keywords