Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

The Microstructure of h-BN thin film on Si(100) by IBAD

  • 이상균 (한국표준과학연구소 연학연구부 압력·진공그룹) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구소 연학연구부 압력·진공그룹) ;
  • 임종연 (한국표준과학연구소 연학연구부 압력·진공그룹) ;
  • 홍승수 (한국표준과학연구소 연학연구부 압력·진공그룹) ;
  • 정광화 (한국표준과학연구소 연학연구부 압력·진공그룹) ;
  • 정재인 (포항산업과학연구원 계측연구팀)
  • Published : 1999.02.01

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Abstract

Keywords