DES 모델링을 통한 고장포용 기법의 Rapid Thermal Process에의 적용 방안 연구

Application of Fault-Tolerant Schemes for the Rapid Thermal Processor Using DES modeling Techniques

실제 공정상에서는 웨이퍼에 열을 가하는 공정뿐만 아니라 다른 형태의 여러 공정도중에도 다양한 종류의 예측 불가능한 고장 또는 기기의 오동작이 발생할 수 있으며 이는 고속열처리장비(RTP)의 throughput과 수율에 심각한 영향을 미치고 있다. 따라서 RTP 공정의 일부분뿐만 아니라 전체 공정에서의 장비의 상태변화를 기반으로 성능인자를 향상시킬 수 있는 modeling기법의 구축이 절실하다. 각각의 에러 수준과 발생 빈도에 의해서 시스템의 동작과 성능이 결정되며 높은 신뢰도(reliability)가 요구되는 시스템일수록 필수적으로 모든 부분의 기능 및 동작상태를 고려한 모델링이 선행되어야 한다. 그러나 시스템의 많은 부분은 분석 및 실험을 바탕으로 한 정확한 상태 방정식을 구할 수 없으므로 추상적이고 개념적인 상태변화 또한 전체 모델링에 포함시킬 수 있는 효율적인 기법이 필요하다. 이에 본 논문은 DES 모델링 기법을 사용하여 RTP의 동작 운용상태를 모델링하고 이를 통해 적절한 성능평가를 하고, 이를 컴퓨터 모의실험을 통해 검증하는 것을 주된 연구내용으로 한다.