Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 1999.07d
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- Pages.1696-1698
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- 1999
Effect of deposition condition on the properties of diamond thin films synthesized by MWPCVD
MWPCVD에 의해 합성된 다이아몬드 박막 특성에 대한 증착조건의 영향
- Lee, B.S. (Inha University) ;
- Shin, T.H. (Yuhan College) ;
- Yuk, J.H. (Yuhan College) ;
- Cho, G.S. (Yuhan College) ;
- You, D.H. (Ansan Tech, College) ;
-
Park, S.H.
(Kyungnam University)
;
-
Lee, N.H.
(Kyungwon University)
;
- Lee, D.C. (Inha University)
- 이병수 (인하대학교 전기공학과) ;
- 신태현 (유한대학 전기과) ;
- 육재호 (유한대학 전기과) ;
- 조기선 (유한대학 전기과) ;
- 유도현 (안산공과대학 전기과) ;
-
박상현
(경남대학교 전기공학과)
;
-
이능헌
(경원대학교 전기공학과)
;
- 이덕출 (인하대학교 전기공학과)
- Published : 1999.07.19
Abstract
The methastable state diamond films have been deposited on Si substrates using MWPCVD. Effects of each experimental parameters of MWPCVD including
Keywords