대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 1999년도 하계학술대회 논문집 D
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- Pages.1553-1555
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- 1999
$CF_4$ /Ar 플라즈마를 이용한 SBT 박막 식각에 관한 연구
Study of characteristics of SBT etching using $CF_4$ /Ar Plasma
- 김동표 (중앙대학교 전기공학과) ;
- 서정우 (중앙대학교 전기공학과) ;
- 김승범 (중앙대학교 전기공학과) ;
- 김태형 (여주대학 전기과) ;
- 장의구 (중앙대학교 전기공학과) ;
- 김창일 (중앙대학교 전기공학과)
- Kim, Dong-Pyo (Dept of Electrical Engineering Chung-Ang Univ.) ;
- Seo, Jung-Woo (Dept of Electrical Engineering Chung-Ang Univ.) ;
- Kim, Seung-Bum (Dept of Electrical Engineering Chung-Ang Univ.) ;
- Kim, Tae-Hyung (Dept. of Electrical, Yeojoo institute of Technology) ;
- Chang, Eui-Goo (Dept of Electrical Engineering Chung-Ang Univ.) ;
- Kim, Chang-Il (Dept of Electrical Engineering Chung-Ang Univ.)
- 발행 : 1999.07.19
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