Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 1999.07d
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- Pages.1508-1510
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- 1999
Effects of the Oxygen Flow and Annealing on the Characteristics of $WO_3$ Film
$WO_3$ 막의 특성에 미치는 산소가스 유량 및 열처리 효과
- Rhie, Dong-Hee (Univ. of Suwon) ;
- Choi, Bok-Gil (Kongju Univ.) ;
- Choi, W.S. (Korea Univ.) ;
- Moon, B.M. (Korea Univ.) ;
- Sung, Youg-Kwon (Korea Univ.)
- Published : 1999.07.19
Abstract
스퍼터 퇴적
Keywords