대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 1999년도 하계학술대회 논문집 G
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- Pages.3304-3306
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- 1999
초전형 적외선 센서 제작을 위한 PZT박막 형성 및 식각 특성 평가
Characteristic Estimation of the Formation and Etching of PZT Thin Films for Pyroelectric IR Sensor Application
- 박윤권 (서울시립대학교 전자전기공학부) ;
- 주병권 (한국과학기술연구원 정보재료소자 연구센터) ;
- 전호승 (서울시립대학교 전자전기공학부) ;
- 윤영수 (한국과학기술연구원 박막기술 연구센터) ;
- 오영제 (한국과학기술연구원 박막기술 연구센터) ;
- 이윤희 (한국과학기술연구원 정보재료소자 연구센터) ;
- 서상희 (한국과학기술연구원 정보재료소자 연구센터) ;
- 오명환 (한국과학기술연구원 정보재료소자 연구센터) ;
- 김철주 (서울시립대학교 전자전기공학부)
- Park, Y.K. (Dept. of Electronics Eng., The University of Seoul) ;
- Ju, B.K. (Electronic Materials and Devices Research Center, KIST) ;
- Jeon, H.S. (Dept. of Electronics Eng., The University of Seoul) ;
- Yoon, Y.S. (Thin Film Technology Research Center, KIST) ;
- Oh, Y.J. (Thin Film Technology Research Center, KIST) ;
- Lee, Y.H. (Electronic Materials and Devices Research Center, KIST) ;
- Suh, S.H. (Electronic Materials and Devices Research Center, KIST) ;
- Oh, M.H. (Electronic Materials and Devices Research Center, KIST) ;
- Kim, C.J. (Dept. of Electronics Eng., The University of Seoul)
- 발행 : 1999.07.19
초록
In this study, we used the sputtering method with single target to obtain the thick and uniform PZT(
키워드