한국전기화학회:학술대회논문집

The Korean Electrochemical Society (한국전기화학회)
권호 표지

Characteristics of Copper film by Pulsed Electrodeposition for ULSI Interconnection

펄스전해증착법에 위해 형성된 ULSI 배선용 구리 박막의 특성 연구

  • 이경우 (한양대학교 금속공학과) ;
  • 신창희 (한양대학교 미세구조반도체공학과) ;
  • 박종완 (한양대학교 금속공학과)
  • Published : 1999.10.01
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