산소 이온빔 보조 증착법에 의해 형성된 ITO박막

Indium tin oxyde films deposited by ion beam assited evaporation

  • 배정운 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 김형종 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이내응 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 오경희 (국립기술품질원 신뢰성과)
  • 발행 : 1999.04.01