Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 1998.11a
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- Pages.331-334
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- 1998
A Study on Crystal Structure and Surface Morphology of Se Thin Film by Fabrication Condition
제작 조건에 따른 Se박막의 결정구조 및 표면형상에 관한 연구
- Park, Gye-Choon ;
- Im, Young-Sham ;
- Chung, Hae-Duck ;
- Lee, Jin ;
- Chung, In-Sung ;
- Kim, Jong-Uk ;
- Gu, Hal-Bon
- 박계춘 (목포대학교 전기공학과) ;
- 임영삼 (전남대학교 전기공학과) ;
- 정해덕 (전남대학교 전기공학과) ;
- 이진 (전남대학교 전기공학과) ;
- 정인성 (전남대학교 전기공학과) ;
- 김종욱 (전남대학교 전기공학과) ;
- 구할본 (전남대학교 전기공학과)
- Published : 1998.11.01
Abstract
Crystal structure and surface morphology of Se thin film fabricated by EBE method had been studied. Se thin film was deposited with amorphous structure until substrate temperature of l00
Keywords