한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 1998년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.331-334
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- 1998
제작 조건에 따른 Se박막의 결정구조 및 표면형상에 관한 연구
A Study on Crystal Structure and Surface Morphology of Se Thin Film by Fabrication Condition
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박계춘
(목포대학교 전기공학과) ;
- 임영삼 (전남대학교 전기공학과) ;
- 정해덕 (전남대학교 전기공학과) ;
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이진
(전남대학교 전기공학과) ;
- 정인성 (전남대학교 전기공학과) ;
- 김종욱 (전남대학교 전기공학과) ;
- 구할본 (전남대학교 전기공학과)
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Park, Gye-Choon
;
- Im, Young-Sham ;
- Chung, Hae-Duck ;
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Lee, Jin
;
- Chung, In-Sung ;
- Kim, Jong-Uk ;
- Gu, Hal-Bon
- 발행 : 1998.11.01
초록
Crystal structure and surface morphology of Se thin film fabricated by EBE method had been studied. Se thin film was deposited with amorphous structure until substrate temperature of l00
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