Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

1998.11a
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Pages.86-87
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1998

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)

권호 표지

Effects of Pulsed DC Parameters on the Contents of c-BN Phase

c-BN박막 증착거동에 미치는 펄스형 DC 바이어스의 영향

이성훈 (한국기계연구원) ;
변응선 (한국기계연구원) ;
이구현 (한국기계연구원) ;
성창모 ;
이응직 ((주)선익) ;
이상호 (한국기계연구원)

Published : 1998.11.01

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Abstract

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