반응성 DC마그네트론 스퍼터법으로 증착된 $SnO_2:(Sb, F)$ 박막의 전기.광학적 특성

Electrical and Optical Properties of $SnO_2:(Sb, F)$ Thin Films by Reactive DC Magnetron Sputtering Method

  • 발행 : 1998.11.01