한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)

권호 표지

진공증착법에 의한 $SnO_2$ 박막 제조시 RE bias의 인가 효과

Effect of RE bias of $SnO_2$ Thin films Deposited by Evaporation Technique

이동현 (성균관대학교 화학공학과) ;
조성민 (성균관대학교 화학공학과) ;
신재혁 (국립기술품질원) ;
신성호 (국립기술품질원) ;
박광자 (국립기술품질원)

발행 : 1998.11.01

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