Sputtering법으로 제조한 $TiB_2$ 박막의 특성

Characteristics of $TiB_2$ thin films deposited by Sputtering process

  • 이해석 (영남대학교 금속공학과) ;
  • 김규호 (영남대학교 금속공학과)
  • 발행 : 1998.11.01