Bias voltage에 따른 WC 박막의 합성 및 밀착력에 관한 연구

A study on the synthesis and adhesion Property of WC films with various bias voltage

  • 명현식 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 김상식 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 한전건 (성균관대학교 신소재공학과)
  • 발행 : 1998.05.01