한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)

권호 표지

DC 마그네트론 스퍼터법에 의한 $SnO_2:(Sb, F)$ 박막의 제조

Preparation of $SnO_2:(Sb, F)$ Thin Films by DC Magnetron Sputtering Method

정영호 (국립기술품질원) ;
신재혁 (국립기술품질원) ;
송국현 (국립기술품질원) ;
신성호 (국립기술품질원) ;
박정일 (국립기술품질원) ;
박광자 (국립기술품질원)

발행 : 1998.05.01

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